有机-无机杂化钙钛矿因其卓越的光学特性而备受关注，可用于开发新型光电器件然而，用于制备杂化钙钛矿器件的光刻技术仍面临巨大的挑战这主要是因为杂化钙钛矿材料在丙酮、水等光刻溶剂中极易受到损坏，因此传统光刻技术无法与杂化钙钛矿材料兼容。
近日，陕西科技大学前沿院材料原子分子科学研究所韩斌副教授在材料领域国际顶级期刊《先进功能材料》（Advanced Functional Materials，影响因子19.924）发表题为“Transparent and Reusable Nanostencil Lithography for Organic-Inorganic Hybrid Perovskite Nanodevices”（透明可重复使用纳米掩膜光刻技术用于有机-无机杂化钙钛矿纳米器件的制备）的高水平论文。
陕西科技大学韩斌副教授为该论文的第一作者兼通讯作者，陕西科技大学为第一通讯单位，香港城市大学为共同通讯单位该论文的发表标志着陕科大在微纳器件研究方面的重大突破，极大地提高了学校在半导体材料及器件领域的国际影响力。
研究中，韩斌副教授带领研究生刘博、王光辉、邱琪等人经过三年的努力，攻克了杂化钙钛矿纳米器件制造的难题，开发了一种与杂化钙钛矿完美兼容的新型聚焦离子束（FIB）辅助透明纳米掩膜光刻技术该技术能够实现100纳米的超高光刻分辨率，并且可以实现精准的掩模板对准。
此外，该掩膜版可以重复使用十多次，极大地降低了器件制造成本该技术的开发将有助于杂化钙钛矿新型器件的开发以及器件的微型化和集成化作者简介
韩斌，本科毕业于陕西科技大学，博士毕业于日本东北大学金属材料研究所，博士毕业后在香港城市大学从事博士后工作2019年以陕西科技大学“青年拔尖人才”引进学校主要依托陕西科技大学的微纳加工平台-聚焦离子束（JEOL JIB-4700F），开展新型半导体材料及其微纳器件的研究。
伴随着新一轮科技革命和产业变革加速推进，大国之间的科技实力竞争已经蔓延到多个领域，其归根到底则是创新型人才的竞争高校作为人才培养和人才聚集高地，发挥着不可替代的作用陕西科技大学材料科学与工程学院（文物保护科学与技术学院）是学校办学历史最悠久、师资力量最雄厚、育人成果最丰硕、科研创新最活跃的学院之一，其“材料科学”学科连续多次保持在ESI全球前1%行列，实力相当强劲。
目前，学院设有无机非金属材料工程、材料物理、材料化学、纳米材料与技术4个本科专业，其中无机非金属材料工程、材料物理、材料化学3个专业获批国家级一流本科专业建设点，纳米材料与技术获批省级一流本科专业建设点。
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